发明名称 曲面人工复眼及其制备方法
摘要 一种光学仿生技术领域的曲面人工复眼及其制备方法,包括:基底和位于基底外表面上的若干复眼透镜,其中:每一个复眼透镜为圆形或六边形结构,其直径或对角线长度为80至250微米,高度为8至25微米。本发明能够使改曲面和现有的CCD传感器配合,从而实现曲面人工复眼摄像镜头的功能,有助提高摄像镜头的视场角和动态捕捉能力。
申请公布号 CN101726773B 申请公布日期 2011.08.31
申请号 CN200910310213.3 申请日期 2009.11.23
申请人 上海交通大学 发明人 刘景全;何庆;芮岳峰;杨春生;李以贵
分类号 G02B3/10(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I 主分类号 G02B3/10(2006.01)I
代理机构 上海交达专利事务所 31201 代理人 王锡麟;王桂忠
主权项 一种曲面人工复眼的制备方法,所述曲面人工复眼包括:基底和位于基底外表面上的若干复眼透镜,其中:每一个复眼透镜为圆形、六边形或者方形结构;所述的复眼透镜的直径或对角线长度为80~250微米,高度为8~25微米,其特征在于,所述制备方法包括以下步骤:第一步、清洗硅片衬底并在硅片衬底上溅射金属作为粘着层;第二步、在粘着层表面旋涂光刻胶,然后通过光刻处理制成柱状凸起结构;第三步、将涂有光刻胶的硅片衬底置于烘箱中熔化光刻胶,使硅片衬底的表面形成半球形结构的光刻胶凸点,作为平面复眼透镜阵列;第四步、在光刻胶凸点的表面沉积聚对二甲苯层以复制平面复眼透镜阵列;第五步、将基底边缘的聚对二甲苯层去除,并经有机浸泡处理后将基底正上方的聚对二甲苯层揭下后固定于气压缸体口并进行塑性变形处理,产生凹弧面;第六步、在凹弧面内部填充聚二甲基硅氧烷,使其均匀填充每个复眼透镜;然后经固化处理后将凹弧面与聚二甲基硅氧烷层分离,制成具有曲面的人工复眼。
地址 200240 上海市闵行区东川路800号