基片传输设备

摘要

本发明公开了一种基片传输设备，用于实现基片在各种工艺腔体中传输，其中，所述基片传输设备包括驱动装置、传动轮、橡胶条及承载基片用的基片载体，所述基片载体呈平板结构且两侧边分别固定有所述橡胶条，所述传动轮设置于所述基片载体的两侧且与所述橡胶条过盈配合，所述驱动装置与所述传动轮连接，所述驱动装置通过所述传动轮带动所述基片载体运动。本发明基片传输设备能实现基片在各种工艺腔体中匀速、无震动地传输。

主权项

一种基片传输设备，用于实现基片在各种工艺腔体中传输，其特征在于：所述基片传输设备包括驱动装置、传动轮、橡胶条及承载基片用的基片载体，所述基片载体呈平板结构且两侧边分别固定有所述橡胶条，所述传动轮设置于所述基片载体的两侧且与所述橡胶条过盈配合，所述驱动装置与所述传动轮连接，所述驱动装置通过所述传动轮带动所述基片载体运动。