发明名称 半导体芯片模板结构
摘要 半导体芯片模板结构,包括由石墨材料制造的上模板和下模板,所述上模板与下模板之间配合连接,并且上模板和下模板的板面上均分别设置有至少三层芯片槽。通过上述设计的半导体芯片模板结构,采用石墨材料,比金属材料的制造成本低很多,并且模板可以设计成多层芯片槽结构,这样就可以提高了生产效率,并且由于石墨的材质,在多次使用后,模板的损坏程度相比金属材质的模板结构,大为降低。
申请公布号 CN201956335U 申请公布日期 2011.08.31
申请号 CN201120001325.3 申请日期 2011.01.05
申请人 无锡市玉祁红光电子有限公司 发明人 蔡新福
分类号 H01L21/67(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I 主分类号 H01L21/67(2006.01)I
代理机构 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人 冯铁惠
主权项 半导体芯片模板结构,其特征在于,包括由石墨材料制造的上模板和下模板,所述上模板与下模板之间配合连接,并且上模板和下模板的板面上均分别设置有至少三层芯片槽。
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