薄膜太阳能电池制造方法和激光刻图装置

摘要

本发明的课题是提供能够针对作为引起在薄膜太阳能电池的激光刻图加工步骤中的加工不良的因素的玻璃基板的附着杂质、玻璃伤痕、玻璃基板内部气泡等，指定正确的位置、大小、形状等，从而容易并确实地修复任何加工不良的方法。一种薄膜太阳能电池制造方法，其特征在于，在为了将成膜在基板上的薄膜层与相邻结构分离，而照射激光以直线状地实施槽加工的薄膜太阳能电池的激光刻图加工步骤中，检查刻图线并指定作为引起加工不良的因素的玻璃基板的附着杂质、玻璃伤痕或玻璃基板内部气泡等的正确位置、大小、形状等，并在最终加工线形成之后，进行形成避开所述加工不良区域的新刻图线的修复加工。

主权项

一种薄膜太阳能电池制造方法，其特征在于，在为了将成膜在基板上的薄膜层与相邻结构分离，而照射激光以直线状地实施槽加工的薄膜太阳能电池的激光刻图加工步骤中，检查刻图线，指定引起加工不良的因素的位置和大小，在最终加工线形成之后，进行形成避开所述加工不良区域的新刻图线的修复加工。