一种高纯度三氯氧磷液位差储运供料装置

摘要

一种高纯度三氯氧磷液位差储运供料装置，高纯三氯氧磷容器上有氮气入口阀、进料口阀门和出料口阀门，高纯三氯氧磷容器通过出料口阀门和鼓泡器进料阀连接带超声波液位控制器的石英鼓泡器，石英鼓泡器连接扩散炉，石英鼓泡器上有高纯氮气鼓泡阀，高纯三氯氧磷容器上的氮气入口阀通过单向阀连接氮气减压阀。由于本实用新型采用了上述结构，减少了操作的劳动强度，节约人力成本；增加了操作的安全性，同时减少了物料污染的几率；增强了操作系统的连续性，简化了操作的难易度；极大地减少了顾客的购置和维护成本；全PFA材料彻底杜绝了玻璃材料和其他材料的金属杂质溶出风险；极大地减少了生产和物流成本，因此，受到三氯氧磷使用厂家的广泛欢迎。

主权项

一种高纯度三氯氧磷液位差储运供料装置，其特征是：高纯三氯氧磷容器上有氮气入口阀、进料口阀门和出料口阀门，高纯三氯氧磷容器通过出料口阀门和鼓泡器进料阀连接带超声波液位控制器的石英鼓泡器，石英鼓泡器连接扩散炉。