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发明名称
Two-zone ion beam carbon deposition
摘要
The invention relates an ion source for ion beam deposition comprising multiple anodes, wherein the ion source deposits multiple zones of a source material and thicknesses of at least two of the multiple zones are different.
申请公布号
US8008632(B2)
申请公布日期
2011.08.30
申请号
US20080179234
申请日期
2008.07.24
申请人
SEAGATE TECHNOLOGY LLC
发明人
MCLEOD PAUL STEPHEN;CHOUR KUEIR-WEEI
分类号
H01J27/00;H01T23/00
主分类号
H01J27/00
代理机构
代理人
主权项
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