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发明名称
PLASMA CLEANING METHOD
摘要
申请公布号
KR20110096499(A)
申请公布日期
2011.08.30
申请号
KR20110014961
申请日期
2011.02.21
申请人
HITACHI HIGH-TECH INSTRUMENT CO., LTD.
发明人
FUKUDA MASAYUKI;MURAKAMI NAOYA
分类号
H05K3/26;H05H1/46
主分类号
H05K3/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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