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发明名称 MEASUREMENT METHOD OF MOTION ERRORS IN ULTRA-PRECISION LINEAR STAGE AND MEASUREMENT DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 KR20110096447(A) 申请公布日期 2011.08.30
申请号 KR20100015891 申请日期 2010.02.22
申请人 IUCF-HYU (INDUSTRY-UNIVERSITY COOPERATION FOUNDATION HANYANG UNIVERSITY) 发明人 HAN, CHANG SOO;KIM, IN DONG;SHIN, DONG IK
分类号 G01B7/02;G01B21/32 主分类号 G01B7/02
代理机构 代理人
主权项
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