SOURCE-COLLECTOR MODULE WITH GIC MIRROR AND LPP EUV LIGHT SOURCE.,申请号NL20112005960-传众专利搜索

发明名称	SOURCE-COLLECTOR MODULE WITH GIC MIRROR AND LPP EUV LIGHT SOURCE.
摘要
申请公布号	NL2005960(C)	申请公布日期	2011.08.30
申请号	NL20112005960	申请日期	2011.01.06
申请人	MEDIA LARIO S.R.L.	发明人	CEGLIO, NATALE M.;NOCERINO, GIOVANNI;ZOCCHI, FABIO
分类号	G02B5/08;G03F7/20;G21K1/06;H05G2/00	主分类号	G02B5/08
代理机构		代理人
主权项
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