摘要 |
1. Виброчастотный микромеханический акселерометр, содержащий подложку из диэлектрического материала, опорные элементы, закрепленные неподвижно на подложке, инерционную массу, расположенную с зазором относительно подложки и связанную с опорными элементами через упругие элементы, и систему измерения перемещения инерционной массы, содержащую подвижный и неподвижные электроды, отличающийся тем, что он снабжен дополнительным опорным элементом и резонатором, расположенным с зазором относительно подложки, с одной стороны закрепленным к инерционной массе, а с другой стороны к дополнительному опорному элементу, а система измерения перемещения инерционной массы выполнена в виде электростатической системы возбуждения-регистрации колебаний резонатора, подвижным электродом которой является резонатор. ! 2. Виброчастотный микромеханический акселерометр по п.1, отличающийся тем, что в инерционной массе выполнено центральное отверстие, в котором расположены опорные элементы и дополнительный опорный элемент. |