发明名称 ВИБРОЧАСТОТНЫЙ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ АКСЕЛЕРОМЕТР
摘要 1. Виброчастотный микромеханический акселерометр, содержащий подложку из диэлектрического материала, опорные элементы, закрепленные неподвижно на подложке, инерционную массу, расположенную с зазором относительно подложки и связанную с опорными элементами через упругие элементы, и систему измерения перемещения инерционной массы, содержащую подвижный и неподвижные электроды, отличающийся тем, что он снабжен дополнительным опорным элементом и резонатором, расположенным с зазором относительно подложки, с одной стороны закрепленным к инерционной массе, а с другой стороны к дополнительному опорному элементу, а система измерения перемещения инерционной массы выполнена в виде электростатической системы возбуждения-регистрации колебаний резонатора, подвижным электродом которой является резонатор. ! 2. Виброчастотный микромеханический акселерометр по п.1, отличающийся тем, что в инерционной массе выполнено центральное отверстие, в котором расположены опорные элементы и дополнительный опорный элемент.
申请公布号 RU2010106911(A) 申请公布日期 2011.08.27
申请号 RU20100106911 申请日期 2010.02.24
申请人 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") (RU);Федеральное государственное унитарное предприятие "Российский Федеральный ядерный центр-Всероссийский научно-исследовательский инст 发明人 Панкратов Геннадий Александрович (RU);Перебатов Василий Николаевич (RU)
分类号 G01C19/56 主分类号 G01C19/56
代理机构 代理人
主权项
地址