| 摘要 |
1. Оптическое электромеханическое устройство, содержащее ! проводящий оптический поглотитель, который сформирован над подложкой, на котором сформирован рельеф для формирования полосовых электродов, и который выполняет функцию главного проводника в этих полосовых электродах в оптически активных областях электромеханического устройства, ! по меньшей мере одну поддерживающую структуру, которая сформирована над указанной подложкой, и ! проводящий деформируемый слой, сформированный поверх указанной по меньшей мере одной поддерживающей структурой, расположенный на расстоянии от проводящего оптического поглотителя и выполненный с возможностью электростатического отклонения в направлении оптического поглотителя. ! 2. Электромеханическое устройство по п.1, в котором оптический поглотитель содержит молибден-хромовый сплав. ! 3. Электромеханическое устройство по п.2, в котором толщина оптического поглотителя составляет примерно 70-75 Å. ! 4. Электромеханическое устройство по п.1, в котором оптический поглотитель отражает примерно от 28,5 до 34,5% падающего видимого света. ! 5. Электромеханическое устройство по п.1, дополнительно содержащее поглощающий слой в виде черной маски, расположенный ниже по меньшей мере участка оптического поглотителя и содержащий тот же материал, что и оптический поглотитель. ! 6. Электромеханическое устройство по п.5, в котором между деформируемым слоем и оптическим поглотителем имеется временный слой, в состав которого входит тот же материал, что и в оптический поглотитель и поглотитель в виде черной маски. !7. Электромеханическое устройство по п.6, в котором используют временный слой, оптич |
