发明名称 LOCK FOR TRANSFERRING A WORKPIECE BETWEEN AN OUTER ZONE AND AN INNER ZONE OF A WORKPIECE TREATMENT AREA
摘要 <p>Um eine Schleuse (125) zum Überführen eines Werkstücks (110) aus einem Außenraum (114) eines Werkstückbehandlungsbereichs (102) einer Werkstückbehandlungsvorrichtung (100) in den Innenraum (106) des Werkstückbehandlungsbereich (102) der Werkstückbehandlungsvorrichtung (100) und/oder aus dem Innenraum (106) in den Außenraum (114) des Werkstückbehandlungsbereichs (102), zu schaffen, welche einfach aufgebaut ist und die Atmosphäre des Innenraums (106) des Werkstückbehandlungsbereichs (102) zuverlässig von der Atmosphäre des Außenraums (114) trennt, wird vorgeschlagen, dass die Schleuse eine Außenkammer (126) mit einer außenraumseitigen Werkstück- Durchtrittsöffnung (130) und einer behandlungsbereichseitigen Werkstück-Durchtrittsöffnung (128) und eine Innenkammer (144) mit einer Werkstück-Durchtrittsöffnung (146) umfasst, wobei die Innenkammer (144) relativ zu der Außenkammer (126) von einer Offenstellung, in welcher die außenraumseitige Werkstück-Durchtrittsöffnung (130) der Außenkammer (126) und die Werkstück-Durchtrittsöffnung (146) der Innenkammer (144) miteinander kommunizieren, in eine Schließstellung bewegbar ist, in welcher die behandlungsbereichseitige Werkstück-Durchtrittsöffnung (128) der Außenkammer (126) und die Werkstück-Durchtrittsöffnung (146) der Innenkammer (144) miteinander kommunizieren.</p>
申请公布号 WO2011101316(A1) 申请公布日期 2011.08.25
申请号 WO2011EP52144 申请日期 2011.02.14
申请人 DUERR SYSTEMS GMBH;SCHAEFER, WOLF-HASSO;TOBISCH, WOLFGANG 发明人 SCHAEFER, WOLF-HASSO;TOBISCH, WOLFGANG
分类号 F26B15/12;F26B25/00 主分类号 F26B15/12
代理机构 代理人
主权项
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