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Verfahren zum Einrichten eines Werkzeugs, welches Verfahren die optische Vermessung des Werkzeugs umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass ein kohärenter Lichtstrahl (22) erzeugt wird, der Lichtstrahl (22) durch ein dynamisches diffraktives optisches Element (34) derart moduliert wird, dass ein Beugungsmuster (60) entsprechend einer Ansteuerung des dynamischen diffraktiven optischen Elements (34) erzeugt wird, das Beugungsmuster (60) über ein Umlenksystem (54) auf die Oberfläche des Objekts (12) projiziert wird und eine Sequenz von Abbildungen des auf die Oberfläche des Objekts (12) projizierten Beugungsmusters (60) aufgenommen wird, wobei die Projektionsrichtung durch das Umlenksystem veränderbar ist und verschiedene Abbildungen dieser Sequenz verschiedenen Projektionsrichtungen entsprechen, und aus jeder Abbildung der Sequenz rechnerisch ein Tiefenbild des Objekts (12) rekonstruiert wird.
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