Mikromechanisches Bauelement mit verkippten Elektroden

摘要

Mikromechanisches Bauelement, mit folgenden Merkmalen: einer mikromechanischen Funktionsstruktur (1), die um eine Hauptachse (13) aus einer Ruhelage auslenkbar ist; einer beweglichen Elektrode (3), die an der mikromechanischen Funktionsstruktur (1) befestigt ist; einer festen Elektrode (4); und Aufhängungen (6a, 6b) für die feste Elektrode (4), die eine Verkippungsachse (10) definieren, wobei die feste Elektrode (4) bei der Herstellung des Bauelements um die Verkippungsachse (10) gegenüber der beweglichen Elektrode (3) in der Ruhelage verkippbar ist und in dieser Position verbleibt, und wobei die Verkippungsachse (10) benachbart zu der Hauptachse (13) ist oder mit der Hauptachse (13) identisch ist, wobei die Verkippungsachse (10), die benachbart zu der Hauptachse ist, näher an der Hauptachse (13) angeordnet ist, als an einem freien Ende der beweglichen Elektrode (3), die an der mikromechanischen Funktionsstruktur (1) befestigt ist.