发明名称 Modifiable magnet configuration for arc vaporization sources
摘要
申请公布号 AU2009339328(A1) 申请公布日期 2011.08.25
申请号 AU20090339328 申请日期 2009.12.30
申请人 OERLIKON TRADING AG, TRUBBACH 发明人 KRASSNITZER, SIEGFRIED;HAGMANN, JUERG;GSTOEHL, OLIVER
分类号 H01J37/32;H01J37/34 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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