一种投影物镜系统中光学元件调心装置

摘要

一种投影物镜系统中光学元件调心装置，涉及深紫外投影光刻物镜结构设计与装调技术领域，本装置整体上可以看作投影光刻物镜系统的一个镜筒单元，可以分宏动调心模块和微动调心模块。宏动调整时，三个螺旋测微仪穿过镜筒、镜座作用在镜框外环的楔形面上，满足大行程调心的同时实现镜框的轴向压紧；微动调整时，固定在镜筒上的两个压电驱动器穿过镜筒、镜座、镜框外环，作用在镜框柔性体上，经柔性铰链机构传递到镜框内环上，带动光学元件实现精密的微动调心。本发明能兼顾快速的大行程调整和精密的微动调整；镜框采用柔性体连接内外环的一体化结构，宏动和微动调整分别作用在镜框外环上和镜框柔性体上，能够有效降低调整力对光学元件面型的破坏。

主权项

一种投影物镜系统中光学元件调心装置，包括光学元件(4)、镜框(3)、镜座(2)、镜筒(1)、三个螺旋测微仪(5)和两个压电驱动器(6)，镜座(2)设置在镜筒(1)内，镜框(3)设置在镜座(2)内，其特征是，镜框(3)分为镜框外环(3‑5)和镜框内环(3‑6)，光学元件(4)设置在镜框内环(3‑6)上，所述镜框外环(3‑5)与镜框内环(3‑6)通过多个柔性铰链(3‑1)连接，所述镜框外环(3‑5)圆柱面上设置楔形凹槽(3‑3)；所述三个螺旋测微仪(5)分别穿过镜筒(1)圆柱面的三个螺旋测微仪镜筒孔(1‑2)、镜座(2)圆柱面的三个螺旋测微仪镜座孔(2‑1)顶在镜框外环(3‑5)的楔形凹槽(3‑3)上，所述两个压电驱动器(6)的压电驱动器接头(7)穿过镜筒(1)圆柱面的压电驱动器探头孔(1‑1)、镜座(2)圆柱面的压电驱动器镜座孔(2‑3)和镜框外环(3‑5)圆柱面的压电驱动器镜框孔(3‑4)调整镜框(3)的位置。