| 发明名称 | 负型感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供负型感光性树脂组合物、以及固化浮雕图案的制造方法，所述负型感光性树脂组合物在低温固化后能够形成与基板的粘接性优异的固化膜。负型感光性树脂组合物含有：100质量份(A)特定结构的聚酰亚胺前体；1～20质量份(B)光聚合引发剂；以及0.01～10质量份(C)具有1个以上选自由羟基、醚基和酯基组成的组中的官能团的碳数2～30的单羧酸化合物。 | ||
| 申请公布号 | CN102162996A | 申请公布日期 | 2011.08.24 |
| 申请号 | CN201110039006.6 | 申请日期 | 2011.02.15 |
| 申请人 | 旭化成电子材料株式会社 | 发明人 | 藤田充 |
| 分类号 | G03F7/038(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/038(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;李茂家 |
| 主权项 | 1.一种负型感光性树脂组合物，其含有下述物质：100质量份(A)具有下述通式(1)所示的结构的聚酰亚胺前体，[化学式1]<img file="FSA00000435172400011.GIF" wi="1181" he="361" />式中，X<sub>1</sub>为4价有机基团，Y<sub>1</sub>为2价有机基团，n为2～150的整数，R<sub>1</sub>和R<sub>2</sub>各自独立地为氢原子、或下述通式(2)所示的1价有机基团、或碳数1～4的饱和脂肪族基团，其中，R<sub>1</sub>和R<sub>2</sub>这两者不同时为氢原子，[化学式2]<img file="FSA00000435172400012.GIF" wi="1132" he="203" />式中，R<sub>3</sub>、R<sub>4</sub>和R<sub>5</sub>各自独立地为氢原子或碳数1～3的有机基团，且m为2～10的整数；1～20质量份(B)光聚合引发剂；以及0.01～10质量份(C)具有1个以上选自由羟基、醚基和酯基组成的组中的官能团的碳数2～30的单羧酸化合物。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||