| 发明名称 |
Piezo linear drive with a group of piezo stack actuators |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2209203(B1) |
申请公布日期 |
2011.08.24 |
| 申请号 |
EP20100161856 |
申请日期 |
2002.06.12 |
| 申请人 |
PHYSIK INSTRUMENTE (PI) GMBH & CO. KG |
发明人 |
MARTH, HARRY |
| 分类号 |
H02N2/02;H01L41/083;H01L41/09;H02N2/04 |
主分类号 |
H02N2/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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