光致抗蚀剂显影液及使用该显影液的基板的制造方法

摘要

本发明提供由含有非离子性表面活性剂和铵化合物的碱性水溶液所构成的光致抗蚀剂显影液，其通过含有0.5～10质量％规定的非离子性表面活性剂、0.01～5.0质量％规定的铵化合物，即便在对厚膜抗蚀剂进行显影时也不会发生膜渣、可以形成良好图案。

主权项

1.一种光致抗蚀剂显影液，其为含有非离子性表面活性剂和铵化合物的碱性水溶液所构成的光致抗蚀剂显影液，其中，所述非离子性表面活性剂为下述通式(2)所示的非离子性表面活性剂，R⁵-Z-{(YO)_b-R⁶}_a         (2)式(2)中，a为1或2，当a为1时，b为11～70，当a为2时，b为使两个{(YO)_b-R⁶}所具有的(YO)总计成为11～70的整数；R⁵和R⁶为氢原子或碳原子数1～40的有机基；Z为(a+1)价的杂原子，Y为碳原子数2～4的亚烷基；在一个分子中，所有的YO可以相同也可以是不同的2种以上的组合，另外，当a为2时，两个{(YO)_b-R⁶}可以相互相同也可以不同，其含量在以所述光致抗蚀剂显影液总质量为100质量％时为1～7质量％，所述铵化合物为下述通式(1)所示的铵化合物，其含量在以所述光致抗蚀剂显影液总质量为100质量％时为0.03～1.0质量％，式(1)中，R¹为碳原子数4～40的有机基，R²、R³和R⁴各自独立为碳原子数1～20的有机基或者其中2个或3个相互键合形成碳原子数4～20的杂环，X为OH、Cl、Br或I，使所述碱性水溶液成为碱性的碱性化合物为下述通式(3)所示的铵化合物，式(3)中，R¹¹、R¹²、R¹³和R¹⁴各自独立为氢原子或碳原子数1～3的有机基。