| 发明名称 | 液体回收系统、浸没式曝光装置、浸没式曝光方法以及器件制造方法 | ||
| 摘要 | 一种液体回收系统，其由浸没式曝光装置使用。该液体回收系统设置有：第一开口(33)；间隙部(15)，其设置成使得与第一开口相对的物体上的液体能够通过第一开口流进该间隙部；液体回收部，其通过多孔部件(30)来抽吸流进所述间隙部的液体的至少一部分；以及第二开口(34)，其不同于第一开口。所述间隙部通过所述第二开口向大气敞开。 | ||
| 申请公布号 | CN101589341B | 申请公布日期 | 2011.08.24 |
| 申请号 | CN200880002821.1 | 申请日期 | 2008.01.23 |
| 申请人 | 株式会社尼康 | 发明人 | 长坂博之 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 李辉 |
| 主权项 | 一种由浸没式曝光装置使用的液体回收系统，该液体回收系统包括：第一开口；第一部；与所述第一部相对的第二部；间隙部，其由所述第一部和所述第二部形成，与所述第一开口相对的物体上的液体能够通过所述第一开口流进该间隙部；液体回收部，其通过多孔部件来抽吸流进所述间隙部的所述液体的至少一部分；以及第二开口，其不同于所述第一开口；其中所述间隙部通过所述第二开口向大气敞开。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||