用于测量应力的包含磁弹性材料层的传感器以及制造层的方法

摘要

本发明涉及一种传感器，其用于测量由施加到承载构件上的力引起的应力。所述传感器包含形成于承载构件上的磁弹性材料层。所述层为不均匀的，且包含平均晶粒尺寸低于100nm且具有第一化学组分的第一相，以及具有显著不同化学组分的第二相(17)，第一相由第二相分割成平均尺寸在100nm到10000nm范围内的区域(18)，且所述区域中的多个区域具有低于1％的重量百分比的氧水平。本发明也涉及以至少300m/s的速度朝向承载构件的表面加速软磁性材料和平均尺寸在10μm到50μm范围内的磁弹性材料的颗粒，使得被加速颗粒的平均温度不高于所述磁弹性材料熔化温度以上500摄氏度，但是也不低于所述磁弹性材料的熔化温度以下500摄氏度。

主权项

一种用于制造形成于承载构件(1)上的磁弹性材料层(3)的方法，所述层意图用于通过在磁弹性层中产生时变磁场以及检测所述层中磁导率的变化，测量由施加到所述承载构件上的力引起的应力，其特征在于，所述方法包括以至少300m/s的速度朝向所述承载构件的表面，加速具有平均尺寸在10μm到50μm范围内的软磁性并且磁弹性的材料的颗粒，使得被加速颗粒的平均温度不高于所述磁弹性材料熔化温度以上500摄氏度，但是也不低于所述磁弹性材料的熔化温度以下500摄氏度。