| 发明名称 | 虚拟光罩系统及虚拟光罩叠合方法 | ||
| 摘要 | 本发明揭示一种虚拟光罩系统及虚拟光罩叠合方法，该虚拟光罩系统包含一调整台、一取像装置及一计算机模块。该调整台经配置以置放一标的物。该取像装置经配置以撷取该标的物的影像。该计算机模块经配置以产生一虚拟光罩，并叠对该标的物的影像及该虚拟光罩。 | ||
| 申请公布号 | CN102163012A | 申请公布日期 | 2011.08.24 |
| 申请号 | CN201010111371.9 | 申请日期 | 2010.02.22 |
| 申请人 | 索尔思光电股份有限公司 | 发明人 | 张咏诚;周一鸣;詹裕恒 |
| 分类号 | G03F9/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F9/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人 | 郑小军;冯志云 |
| 主权项 | 一种虚拟光罩系统，包含：一调整台，经配置以置放一标的物；一取像装置，经配置以撷取该标的物的影像；以及一计算机模块，经配置以产生一虚拟光罩，并叠对该标的物的影像及该虚拟光罩。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹县 | ||