发明名称 |
多晶硅铸锭炉热场结构 |
摘要 |
本发明涉及一种多晶硅铸锭炉热场结构,包括炉体、设置在炉体内的隔热笼保温体及设置在隔热笼保温体内的坩埚,隔热笼保温体由上部保温体、下部保温体及保温底板构成一密封的热场腔室;上部保温体固定在炉体上;下部保温体的底部搁置于保温底板上,且该下部保温体通过提升机构可相对上部保温体上下滑动;坩埚放置于支撑结构中热交换台上;保温底板放置于支撑结构的支撑柱柱上进行固定。本发明当硅料加热熔化保温一段时间后,下部保温体在被提升的过程中,由于热场腔室内的上下高低温差,在硅的结晶面上形成一垂直的温度梯度场,通过控制散热和加热,使硅能定向结晶,提高了多晶硅铸锭的质量。同时缩短了工艺时间,降低了能耗,提高了单位产能。 |
申请公布号 |
CN102162125A |
申请公布日期 |
2011.08.24 |
申请号 |
CN201110122386.X |
申请日期 |
2011.05.12 |
申请人 |
石金精密科技(深圳)有限公司 |
发明人 |
南志华 |
分类号 |
C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I |
主分类号 |
C30B28/06(2006.01)I |
代理机构 |
深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 |
代理人 |
胡海国 |
主权项 |
一种多晶硅铸锭炉热场结构,包括炉体、设置在炉体内的隔热笼保温体及设置在隔热笼保温体内的坩埚,其特征在于,所述隔热笼保温体由上部保温体、下部保温体及保温底板构成一密封的热场腔室;所述上部保温体固定在所述炉体上;下部保温体的底部搁置于所述保温底板上,且该下部保温体通过提升机构可相对上部保温体上下滑动;所述坩埚放置于一支撑结构上,该支撑结构固定在炉体的下部;所述保温底板固定于所述支撑结构上。 |
地址 |
518000 广东省深圳市宝安区沙井街道办沙头茭塘工业区第三排第一栋一至二层 |