生成探针测试机用地图数据的装置及方法

摘要

生成探针测试机用地图数据的装置及方法中，该装置包括：数据生成模块，其使用晶片信息文件生成该晶片的原始数据，所述文件包括样本晶片的多种特征；误差检测模块，其用于检测该晶片上该芯片的第一坐标与对应于该芯片的该原始数据中的地图芯片的第二坐标之间的地图误差；校准模块，其用于计算修正量，所述计算量用于补偿该芯片的第一坐标与该地图芯片的第二坐标之间的该地图误差；及坐标修正模块，其用于根据该修正量修正该原始数据中该地图芯片的坐标。因此，基于与该晶片相关的原始数据可无需任何附加的人工操作而生成精确的地图数据。

主权项

一种生成晶片上芯片的探针测试机用地图数据的装置，包括：数据生成模块，其使用晶片信息文件生成该晶片的原始数据，所述文件包括与该晶片相对应之样本晶片的多种特征；误差检测模块，其用于检测该晶片上芯片的第一坐标与对应于该晶片上芯片的该原始数据中的地图芯片的第二坐标之间的地图误差，该误差检测模块包括用于测量该芯片的第一坐标的相机；校准模块，其用于计算修正量，所述修正量用于补偿该芯片的第一坐标与该地图芯片的第二坐标之间的该地图误差；及坐标修正模块，其用于根据该修正量修正该原始数据中该地图芯片的所述坐标。