一种无电荷注入效应高可靠性电容式射频微机电系统开关

摘要

一种无电荷注入效应高可靠性电容式射频微机电系统开关，在低损耗衬底上制作有作为射频传输线的共面波导，其中心电极的中间部分覆盖有一层绝缘介质薄膜，其上横跨有开关膜桥，膜桥两端为制作在共面波导地电极上的可动偏置电极，其外侧有固定偏置电极，膜桥和可动偏置电极均采用软质电镀金制作。采用软质金膜桥，膜桥自然下垂而与共面波导中心电极上的绝缘介质薄膜接触，实现开关的关态，而通过在可动偏置电极和固定偏置电极间施加侧向偏置电压，使软质金可动偏置电极向外侧偏移，张紧膜桥，使膜桥中间下垂部分脱离绝缘介质薄膜并向上偏移一定高度而实现开关的开态，避免了为实现并维持开关的关态而施加的纵向偏置电压所产生的电荷注入效应，提高了开关的可靠性。

主权项

一种无电荷注入效应高可靠性电容式射频微机电系统开关，其特征在于：在低损耗衬底（1）上制作有作为射频传输线的共面波导（2），共面波导（2）的中心电极（21）的中间部分覆盖有一层绝缘介质薄膜（3），共面波导（2）上横跨有开关膜桥（4），开关膜桥（4）的两端位于可动偏置电极（5）上，可动偏置电极（5）位于共面波导（2）的地电极（22）上，在可动偏置电极（5）外侧有固定偏置电极（6）。