研磨用组合物以及使用该研磨用组合物的研磨方法

摘要

本发明是一种研磨用组合物以及使用该研磨用组合物的研磨方法。本发明提供除了可以改善研磨后的研磨对象物的平坦性之外，还可以减少由于研磨而在研磨对象物上产生的表面缺陷的研磨用组合物，本发明的研磨用组合物含有氧化剂、防腐蚀剂和由化学式1所示的化合物构成的表面活性剂。化学式1的R¹～R⁵中的1个～3个为烷基、炔基、烯基、芳基或芳基亚烷基，一个为氢原子或碳原子数为1～9的烷基，剩其余的为氢原子，O-R⁶为氧基亚乙基、氧基亚丙基、或氧基亚乙基与氧基亚丙基的无规或嵌段结合物，n为1以上的整数，X为OSO₃^-基、OPO₃^2-基或OH基。

主权项

1.研磨用组合物，该组合物含有氧化剂、防腐蚀剂和表面活性剂，所述表面活性剂为化学式1所示的化合物，[化合物1]化学式1的R¹～R⁵中的1个～3个为烷基、炔基、烯基、芳基或芳基亚烷基，一个为氢原子或碳原子数为1～9的烷基，其余的为氢原子，O-R⁶为氧基亚乙基、氧基亚丙基、或氧基亚乙基与氧基亚丙基的无规或嵌段结合物，n为1以上的整数，X为OSO₃^-基、OPO₃^2-基或OH基。