| 发明名称 | 一种光致抗蚀剂的剥离液组合物 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种光致抗蚀剂的剥离液组合物，包括无机碱、有机碱、水溶性有机溶剂、防腐蚀剂和水。无机碱和有机碱的质量配比为，无机碱∶有机碱＝1∶30～30∶1。本发明的剥离液尤其适用于厚度为100μm以上的厚干膜的剥离，可以在较低温度(45-55℃)、较短时间(＜30min)条件下，完全剥离厚干膜。 | ||
| 申请公布号 | CN102163011A | 申请公布日期 | 2011.08.24 |
| 申请号 | CN201110109687.9 | 申请日期 | 2011.04.29 |
| 申请人 | 西安东旺精细化学有限公司 | 发明人 | 张军;常积东;李承孝 |
| 分类号 | G03F7/42(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/42(2006.01)I |
| 代理机构 | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人 | 徐平 |
| 主权项 | 一种光致抗蚀剂的剥离液组合物，其特征在于：包含(1)无机碱，含量为0.1‑35wt％；(2)有机碱，含量为0.01‑50wt％；(3)水溶性有机溶剂，含量为1‑60wt％；(4)防腐蚀剂，含量为0.05‑15wt％；(5)余量为水。 | ||
| 地址 | 710075 陕西省西安市高新区高新路枫叶广场A座1205室 | ||