硅片切割废砂浆中硅与碳化硅分离回收装置及方法

摘要

一种硅片切割废砂浆中硅与碳化硅固固分离回收的装置：进口管连接到垂直电泳槽筒体上，在垂直电泳槽中上方为阳极电极管，下方为阴极电极管，阳极电极管主电极管出口连接硅出口管，硅出口管另一侧连接硅出口泵，硅出口泵连接到硅回收罐中；阴极电极管主电极管连接碳化硅出口管，碳化硅出口管另一侧连接碳化硅出口泵，碳化硅出口泵连接到碳化硅回收罐中。将硅片切割废砂浆进行固液分离；得到的固相沉积物加入重液及分散剂进行超声振荡分散，通过垂直电泳分离装置将硅与碳化硅分离，该工艺分离得到的碳化硅纯度≥98.5％，硅的纯度≥99.9％。其中重液采用无挥发、无毒环保型多钨酸钠溶液或离子液体，克服了水平电泳带来的重力影响的问题，实现环境友好化。

主权项

一种硅片切割废砂浆中硅与碳化硅分离回收装置，其特征是：进口管(1)连接到垂直电泳槽筒体(2)上，在垂直电泳槽中上方为阳极电极管(3)下方为阴极电极管(4)，阳极电极管由一根主电极管和相垂直的副电极管组成，阳极电极管下方有小孔，阳极电极管主电极管出口连接硅出口管(5)，硅出口管另一侧连接硅出口泵(6)，硅出口泵连接到硅回收罐(7)中；阴极电极管也是由一根主电极管和相垂直的副电极管组成，阴极电极管上方有小孔，阴极电极管主电极管连接碳化硅出口管(8)，碳化硅出口管另一侧连接碳化硅出口泵(9)，碳化硅出口泵连接到碳化硅回收罐(10)中，外置电源(11)正极连接到阳极电极管上，负极连接到阴极电极管上。