利用透明块缩小光斑

摘要

用于缩小光斑的装置，包括第一相干性降低元件，它具有由一组第一透明部件组成的第一阵列，第一透明部件被设置为各自接收入射在第一透明元件上的准直光束的不同的第一部分，第一透明部件相对于穿过其中的光束各自产生至少两种不同的光程，并输出相应的第一部分作为各自第一准直子光束。该装置还包括第二相干性降低元件，它具有由一组第二透明部件组成的第二阵列，第二透明部件被设置为接收所述光束中的每个第一准直子光束的各自不同的第二部分，第二透明部件相对于穿过其中的光束各自产生至少两种不同的光程，并输出相应的第二部分作为各自第二准直子光束。该装置还包括一光合成器，用于将第二准直子光束合成为一准直输出光束。

主权项

一种用于缩小光斑的装置，包括：第一相干性降低元件，它包含由一组第一透明部件组成的第一阵列，所述第一透明部件被设置为各自接收一光束中不同的第一部分，所述第一透明部件相对于穿过其中的光束具有至少两种不同的光程，并输出所述相应的第一部分作为各自基本上准直的第一子光束；第二相干性降低元件，它包含由一组第二透明部件组成的第二阵列，所述第二透明部件被设置为接收每个所述第一子光束的各自不同的第二部分，所述第二透明部件相对于穿过其中的光束具有至少两种不同的光程，并输出所述相应的第二部分作为各自基本上准直的第二子光束；以及光合成器，其被设置为将所述第二基本准直子光束合成为基本准直的输出光束，其中，所述第一和第二相干性降低元件中的一个或两者进一步包括一绕过部分，以允许所述光束的一部分绕过所述第一和第二相干性降低元件中的至少一个。