剪刀式升举传送自动控制仪器

摘要

兹描述一种传送自动控制仪器(robot)的方法与设备，其可用于一真空环境中。该传送自动控制仪器包括一升举组件，其包含一第一平台与一第二平台；多个支撑构件，其耦接该第一平台与该第二平台，该多个支撑构件包含一第一支撑构件对与一第二支撑构件对；一第一驱动组件，其耦接至所述多个支撑构件其中一部分，该第一驱动组件对所述多个支撑构件提供一移动力，以使该第二平台以相对于该第一平台的一第一线性方向移动；以及一端效器(end effector)组件，其配置在该第二平台上且可藉由一第二驱动组件而以一第二线性方向移动，该第二线性方向与该第一线性方向正交。

主权项

一种用于一真空环境中的传送自动控制仪器，其包含：一升举组件，该升举组件包含一第一平台与一第二平台；多个支撑构件，该多个支撑构件将该第一平台耦接该第二平台，该多个支撑构件包含：一第一支撑构件对，该第一支撑构件对具有可旋转耦接至该第一平台的一第一端以及藉由一第一线性组件而耦接至该第二平台的一第二端；以及一第二支撑构件对，该第二支撑构件对可旋转耦接至该第二平台且一第二端藉由一第二线性组件而耦接至该第一平台，该第一与该第二支撑构件对在一中心处耦接在一起；一第一驱动组件，该第一驱动组件耦接至该第二支撑构件对，该第一驱动组件对该多个支撑构件提供一移动力，以改变该第二支撑构件对相对于该第一支撑构件对的角度，以使该第二平台以相对于该第一平台的一第一线性方向移动；以及一端效器组件，该端效器组件配置于该第二平台上且可藉由一第二驱动组件而以一第二线性方向移动，该第二线性方向与该第一线性方向正交。