散射器支撑

摘要

气体分配装置的实施方式包含耦接到散射器并穿过背板可移动地设置的散射器支持部件。在基板支架的基板接收表面上的基板的处理方法的实施方式包括提供散射器，在其中散射器支撑部件支撑散射器并穿过背板可移动地设置。

主权项

一种气体分配装置，包括：散射器，所述散射器能设置在腔室的内部空间中；背板，所述背板能设置在所述腔室内并限定所述内部空间的一部分；以及散射器支撑部件，所述散射器支撑部件耦接到所述散射器，并且所述散射器支撑部件穿过背板的中心区域可移动地设置并由位于所述腔室的内部空间外侧的框架结构支撑从而以不受作用于背板中心区域的压力的方式支撑所述散射器的中心区域。