流体特性测定装置及其再生方法

摘要

本发明提供了一种压电/电致伸缩膜型传感器20，其具有陶瓷基体1和压电/电致伸缩元件12，所述陶瓷基体1具有薄隔膜部3和厚部2，由此形成空洞10，所述压电/电致伸缩元件12包含设置在该陶瓷基体1上的压电/电致伸缩体5和将该压电/电致伸缩体5夹持的上部电极6和下部电极4。该压电/电致伸缩膜型传感器20特征在于压电/电致伸缩体5含有碱金属或碱土金属，同时上部电极6和下部电极4含有金或铂，在使用场所的氛围气变化时，该传感器处理这种改变，至少可以防止可靠性低的测定的继续。

主权项

一种流体特性测定装置，其特征在于：包括：具备陶瓷基体和压电/电致伸缩元件且可确认自身的测定可靠性的压电/电致伸缩膜型传感器、施加驱动所述压电/电致伸缩膜型传感器的压电/电致伸缩元件的电压的电源、电常数监视装置和绝缘电阻测量装置；所述压电/电致伸缩膜型传感器的所述陶瓷基体具有薄隔膜部和与该薄隔膜部的周缘设置成一体的厚部，通过该薄隔膜部与该厚部形成与外部连通的空腔；所述压电/电致伸缩元件设置在该陶瓷基体的薄隔膜部的外表面上，且具有包括膜状的压电/电致伸缩体以及夹持该压电/电致伸缩体的一对膜状电极的层状结构；通过与该压电/电致伸缩元件的驱动联动，所述陶瓷基体的薄隔膜部发生振动；所述压电/电致伸缩体含有碱金属或者碱土金属，同时所述电极含有金或铂；所述电常数监视装置检测随着所述压电/电致伸缩膜型传感器的薄隔膜部的振动的电常数变化；所述绝缘电阻测量装置测量所述压电/电致伸缩膜型传感器的夹持压电/电致伸缩体的所述一对电极之间的绝缘电阻。