测试硅片抗弯强度的装置

摘要

本实用新型公开了一种测试硅片抗弯强度的装置，该装置包括：控制单元；与控制单元相连的驱动电机；与驱动电机相连的推力计，所述推力计连接测试头安装杆；设置在所述测试头安装杆上的上压球头；位于所述上压球头下方的底支撑圆盘；设置在所述底支撑圆盘上用于支撑硅片的下支撑球头和用于防止硅片倾斜的导向定位柱。通过本实用新型所提供的装置，能够准确地测试出硅片的最大破碎力及最大变形位移，为制作较薄的硅片提供了有力的支持。

主权项

一种测试硅片抗弯强度的装置，其特征在于，包括：控制单元；与控制单元相连的驱动电机；与驱动电机相连的推力计，所述推力计连接测试头安装杆；设置在所述测试头安装杆上的上压球头；位于所述上压球头下方的底支撑圆盘；设置在所述底支撑圆盘上用于支撑硅片的下支撑球头和用于防止硅片倾斜的导向定位柱。