系统误差自校准的光刻机投影物镜波像差的在线检测方法

摘要

本发明提供一种系统误差自校准的光刻机投影物镜波像差的在线检测方法，采用设有方形针孔阵列的物方掩模板，通过方形针孔阵列产生理想的球面波，消除了照明系统对光刻机投影物镜波像差检测的影响；同时，利用针孔阵列滤波的系统误差自校准，通过在光刻机投影物镜的物面放置方孔和像面放置针孔阵列，在保证曝光光源利用率的同时，实现了对待测照明系统残留像差和投影物镜波像差的空间滤波，可以快速，高精度的分离投影物镜的波像差和在线检测装置的系统误差。

主权项

1.一种系统误差自校准的光刻机投影物镜波像差在线检测方法，其特征在于，具体步骤为：步骤一、在物方掩模板上设置方形针孔阵列A和方孔A，方形针孔阵列A上的针孔直径r₁小于光刻机投影物镜的物方衍射极限尺寸，且方形针孔阵列A中每行第一个针孔与最后一个针孔的圆心距为l₁＝a₁-r₁，a₁为方孔A的边长，所述方形针孔阵列A上每相邻两针孔之间距离d₁＞1.5r₁；步骤二、在像方掩模板上设置方孔B和方形针孔阵列B，方形针孔阵列B上的针孔直径r₂小于光刻机投影物镜的像方衍射极限尺寸，且方形针孔阵列B中每行第一个针孔与最后一个针孔的圆心距为l₂＝a₂-r₂，a₂为方孔B的边长，所述方形针孔阵列B上每相邻两针孔之间距离d₂＞1.5r₂；步骤三、调节照明系统的相干因子σ≥1；步骤四、移动物方掩模板，使方形针孔阵列A的中心位于光刻机投影物镜的视场点K上，移动像方掩模板，使方孔B与方形针孔阵列A在光刻机投影物镜的像面上的像重合；将此时光电探测器中获得的干涉图P_K存储于存储器中；步骤五、移动物方掩模板，使方孔A的中心位于光刻机投影物镜的视场点K上，移动像方掩模板，使得方形针孔阵列B与方孔A在光刻机投影物镜的像面上的像重合；将此时光电探测器中获得的干涉图Q_K存储于存储器中；步骤六、利用傅里叶变换对干涉图P_K和Q_K进行处理，获取波像差和所述含有投影物镜视场点K波像差和在线检测装置的系统误差所述含有在线检测装置的系统误差将波像差减去波像差进而获得投影物镜视场点K的波像差