多晶硅氢化炉双层导流隔热罩

摘要

本发明公开了一种多晶硅氢化炉双层导流隔热罩，包括内层隔热罩和套设在所述内层隔热罩外侧的外层隔热罩，所述内层隔热罩和外层隔热罩底部设的隔热底盘，所述内层隔热罩和外层隔热罩之间形成导流通道；所述外层隔热罩的下部设有进气通道，所述内层隔热罩的上部设有进气通道。本发明通过设置两层隔热罩，两层隔热罩之间形成导流通道，工艺尾气经该导流通道进入内层隔热罩内的反应区，第一，工艺尾气是热的不良导体，可以起到很好的隔热作用；第二，工艺尾气在经过导流通道时吸收由反应区传来的热量后被预热，可以提高进后反应区后反应效率；第三，双层隔热罩所形成的气流方向使设备更加安全和稳定。

主权项

一种多晶硅氢化炉双层导流隔热罩，其特征在于，包括内层隔热罩和套设在所述内层隔热罩外侧的外层隔热罩，所述内层隔热罩和外层隔热罩底部设的隔热底盘，所述内层隔热罩和外层隔热罩之间形成导流通道；所述外层隔热罩的下部设有进气通道，所述内层隔热罩的上部设有进气通道。