基板检查装置

摘要

基板检查装置及基板检查方法。本发明的课题是提供可以对被检查基板施加温度应力并缩短检查时间的基板检查装置以及基板检查方法。作为解决手段，具有：冷却保持部(22)，其具有对被检查基板(8)进行冷却的冷却盘(221)；加热保持部(24)，其具有对被检查基板(8)进行加热的加热盘(241)；运送部(32)，其以预先设定的顺序将被检查基板(8)运送到冷却盘(221)以及加热盘(241)的载置部位；以及移动式探测器(37、38)，其检查由冷却保持部(22)冷却后的检查基板(8)以及由加热保持部(24)加热后的检查基板(8)。

主权项

一种基板检查装置，进行在基板上形成的配线的检查，其特征在于，具有：保持体，其在一个方向上排列了分别载置多个基板的多个载置部、在所述多个载置部的周围具有侧壁部；温度施加单元，其在预定的温度施加位置，使所述保持体的温度成为预定的温度；检查部，其在预定的检查位置处检查通过所述温度施加单元而成为预定温度后的基板；移动部，其在所述温度施加位置和所述检查位置之间移动；以及盖部件，其在所述温度施加位置处、所述检查位置处以及从所述温度施加位置到所述检查位置的移动路径上，覆盖所述多个载置部位，所述盖部件在所述检查位置处具有一个所述载置部位的大小的检查用开口部，所述移动部使所述保持体相对于所述盖部件相对地移动，以使所述多个载置部位依次与所述检查用开口部相对，所述检查部经由所述检查用开口部依次进行所述多个载置部位上载置的所述基板的检查。