用于固态微电池光刻制造、切单和钝化的方法和设备

摘要

提供一种制造薄膜锂电池的方法，包括将阴极集电器、阴极材料、阳极集电器、和隔开阴极材料与阳极集电器的电解质层施加到基板上，其中至少一层包含锂化的化合物，通过光刻操作至少部分地图案化该包含锂化的化合物的至少一层，该光刻操作包括通过包括湿化学处理的工艺从包含锂化的化合物的层去除光刻胶材料。另外，提供一种用于制备锂电池的方法和设备，提供第一片材，包括具有阴极材料、阳极材料、和隔开阴极材料与阳极材料的LiPON/电解质层的基板；去除第一材料的子部分以从第一片材分离多个电池单元。在一些实施例中，该方法进一步包括在该片材上沉积第二材料以覆盖多个电池单元；且去除第二材料的子部分以从第一片材分离多个电池单元。

主权项

一种用于制造薄膜锂电池的方法，包括：a)提供包括基板的第一片材；和b)将阴极集电器、阴极材料、阳极集电器、和将阴极材料与阳极集电器隔开的电解质层施加到基板上；其中至少其中一层包含锂化的化合物；和其中通过光刻操作至少部分地图案化所述包含锂化的化合物的至少其中一层的结构，所述光刻操作包括通过包括湿化学处理的工艺从包含锂化的化合物的层去除光刻胶材料；其中所述光刻操作包括a)将光刻胶材料施加到所述包含锂化的化合物的至少其中一层的表面，b)处理该光刻胶材料以提供图案，c)施加显影剂以去除部分光刻胶材料，由此限定包含锂化的化合物的层的掩蔽和未掩蔽部分，d)去除包含锂化的化合物的层的未掩蔽部分，和e)通过湿化学处理从包含锂化的化合物的层去除剩余的光刻胶材料。