一种热补偿钼圆片表面涂层加工方法

摘要

本发明揭示了一种制造大功率晶闸管的热补偿钼圆片表面涂层的加工方法，属纯钼材表面的高熔点金属沉积加工方法。它采用纯度大于99%的铑、钌作为靶材，通过双层辉光等离子渗金属技术在钼圆片上沉积铑、钌的薄层，采用的工艺条件是工件电压大于600V、小于900V，源极电压850V~1000V，工件温度大于900℃、小于1200℃的条件下，处理时间0.5~2小时。与现有电镀和电子束辅助物理气相沉积等方法相比，本发明生产流程短，成品率以及涂层结合力高。尤其可以应用于特（超）高压直流输电工程、大电网联网和高速机车牵引等领域的超大功率晶闸管热补偿钼圆片的表面沉积铑、钌涂层的加工。

主权项

一种热补偿钼圆片表面涂层加工方法，以热补偿钼圆片基材为工件，按照通常的方法加工，其特征是：采用纯度大于99%的铑或钌纯金属制成源极，以氩气为工作气体，工件电压大于600V、小于900V，源极电压850V~1000V，工件温度大于900℃、小于1200℃的条件下，经0.5~2小时双层辉光等离子渗金属处理，完成钼圆片表面涂层加工。