| 发明名称 | 一种MEMS麦克风芯片 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供了一种MEMS麦克风芯片，包括中部设有空洞的基底、振动膜片以及与所述振动膜片相对应设置的固定极板，其中，所述振动膜片自由设置在一卡槽内，所述振动膜片的外围轮廓大于所述卡槽的较小内孔轮廓、小于所述卡槽的较大内孔轮廓。在本实用新型的麦克风芯片结构中，振动膜片处于完全自由的状态，从而使MEMS麦克风芯片可以取得较高的灵敏度，并且由于振动膜片周边卡在卡槽中的部分在振动过程中均匀受力，所以不需要担心振动膜片因支撑的断裂而失效的问题，从而使MEMS麦克风产品的可靠性也能够得到良好保障。 | ||
| 申请公布号 | CN201947431U | 申请公布日期 | 2011.08.24 |
| 申请号 | CN201020676219.0 | 申请日期 | 2010.12.22 |
| 申请人 | 歌尔声学股份有限公司 | 发明人 | 蔡孟锦 |
| 分类号 | H04R3/00(2006.01)I | 主分类号 | H04R3/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人 | 林锦辉;陈英俊 |
| 主权项 | 一种MEMS麦克风芯片，包括中部设有空洞的基底(1)、振动膜片(4)以及与所述振动膜片(4)相对应设置的固定极板(5)，其特征在于，所述振动膜片(4)自由设置在一卡槽(32)内，所述振动膜片(4)的外围轮廓大于所述卡槽(32)的较小内孔轮廓、小于所述卡槽(32)的较大内孔轮廓。 | ||
| 地址 | 261031 山东省潍坊市潍坊高新技术产业开发区东方路268号 | ||