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发明名称 ELECTROSTATIC CHUCK WITH COMPLIANT COAT
摘要
申请公布号 KR20110094218(A) 申请公布日期 2011.08.22
申请号 KR20117016003 申请日期 2009.12.10
申请人 AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 PUROHIT ASHWIN;LEE WILLIAM D.;LAFONTAINE MARVIN;RZESZUT RICHARD
分类号 H01L21/683;B23Q3/15;H01L21/687;H02N13/00 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
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