发明名称 具空气过滤器之半导体元件测试系统
摘要
申请公布号 TWM410332 申请公布日期 2011.08.21
申请号 TW100203036 申请日期 2011.02.18
申请人 京元电子股份有限公司 发明人 戴碧辉
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人 吴冠赐 台北市松山区敦化北路102号9楼;杨庆隆 台北市松山区敦化北路102号9楼;林志鸿 台北市松山区敦化北路102号9楼
主权项 一种具空气过滤器之半导体元件测试系统,包括:一元件测试系统,包括有一箱体,该箱体具有一开口;一第一中空框架,框设于该箱体之该开口上,包括有一下底面及一环侧面,该环侧面固设有复数挂勾;一风扇组件,固设于该第一中空框架上,以提供一朝向该箱体内之强制气流;一第二中空框架,包括有一内底面及一外环侧面,该外环侧面固设有与该复数挂勾可相互对应扣合之复数扣具;以及一过滤器,夹设于该第一中空框架之该下底面与该第二中空框架之该内底面之间,并覆盖住该箱体之该开口。如申请专利范围第1项所述之元件测试系统,其中,该箱体之侧面具有复数槽孔,用以提供一排风通道。如申请专利范围第1项所述之元件测试系统,其中,该过滤器系指一高效率微粒过滤器。如申请专利范围第1项所述之元件测试系统,其中,该第二中空框架之断面系呈L形。如申请专利范围第1项所述之元件测试系统,其中,当该复数挂勾与该复数扣具相互对应扣合时,该过滤器系抵顶于该第一中空框架之该下底面与该第二中空框架之该内底面。如申请专利范围第1项所述之元件测试系统,其中,该风扇组件系藉由复数螺锁件固定于该第一中空框架上。如申请专利范围第1项所述之元件测试系统,其中,该第一中空框架、该风扇组件、该第二中空框架与该过滤器可组装形成一单一组件,以方便固设于该箱体上。如申请专利范围第1项所述之元件测试系统,其中,该开口设置于该箱体之顶面。如申请专利范围第1项所述之元件测试系统,其中,该开口设置于该箱体之侧面。如申请专利范围第9项所述之元件测试系统,其中,该箱体之该侧面之对应侧设置一贯口。如申请专利范围第10项所述之元件测试系统,其中,该贯口设置一排风扇。如申请专利范围第11项所述之元件测试系统,其中,该排风扇设置一排风罩。
地址 新竹市公道五路2段81号