| 主权项 |
一种清洗化合物，包含：脂肪酸，以约0.5重量%至约10重量%分散于水中；足量之硷，该硷足以将该脂肪酸与水之溶液的pH值改变至10.2或更高的程度，在此程度下有约50%之该经分散的脂肪酸被离子化；一第一不溶成分，以液态分散于水中；及一第二不溶成分，以气态分散于水中。如申请专利范围第1项之清洗化合物，其中该脂肪酸为硬脂酸。如申请专利范围第1项之清洗化合物，其中该脂肪酸系选自包含下列者之族群：月桂酸(lauric)、棕榈酸(palmitic)、硬脂酸(stearic)、油酸(oleic)、亚麻油酸(linoleic)、次亚麻油酸(linolenic)、花生四烯酸(arachidonic)、鳕烯酸(gadoleic)、十八稀酸(eurcic)、丁酸(butyric)、己酸(caproic)、辛酸(caprylic)、肉豆蔻酸(myristic)、十七酸(margaric)、山嵛酸(behenic)、木腊酸(lignoceric)、肉豆蔻烯酸(myristoleic)、棕榈烯酸(palmitoleic)、神经酸(nervonic)、杷荏酸(parinaric)、二十碳五烯酸(timnodonic)、顺廿二碳-13-烯酸(brassic)、鰶鱼酸(clupanodonic acid)及其混合物。如申请专利范围第1项之清洗化合物，其中该脂肪酸具有介于约50奈米至5000微米之粒子尺寸分布。如申请专利范围第1项之清洗化合物，其中该脂肪酸之酸组分系选自于包含碳酸、磺酸及膦酸组分之族群。如申请专利范围第1项之清洗化合物，其中在将该脂肪酸添加至该水中之前使其熔化。如申请专利范围第1项之清洗化合物，更包含：另一脂肪酸，以0.1重量%至约10重量%分散于该水中。如申请专利范围第1项之清洗化合物，其中该第二不溶成分为一惰性气体。如申请专利范围第1项之清洗化合物，其中该第二不溶成分为一反应性气体。如申请专利范围第1项之清洗化合物，其中该第一不溶成分为一烷类。如申请专利范围第1项之清洗化合物，其中该第一不溶成分为一油溶性表面改性剂。一种清洗基板用的清洗溶液，该清洗溶液系藉由包含下列操作步骤之处理所备制：将脂肪酸添加至异丙醇并同时搅拌以使已溶解之脂肪酸浓度介于约2重量%至约20重量%；自该异丙醇溶液移除任何未溶解之固体；混合该异丙醇溶液与水以沈淀该已溶解之脂肪酸；离子化该已溶解之脂肪酸；将液态之一第一不溶成分分散于水中；及将气态之一第二不溶成分分散于水中。如申请专利范围第12项之清洗基板用的清洗溶液，其中该脂肪酸为硬脂酸与棕榈酸之混合物。如申请专利范围第12项之清洗基板用的清洗溶液，其中自该异丙醇溶液移除任何未溶解之固体的操作步骤包含：过滤该异丙醇溶液。如申请专利范围第12项之清洗基板用的清洗溶液，其中离子化该已溶解之脂肪酸的操作步骤包含：在混合该异丙醇溶液与水后，将硷添加至该异丙醇溶液。如申请专利范围第12项之清洗基板用的清洗溶液，其中离子化该已溶解之脂肪酸的操作步骤包含：在混合该异丙醇溶液与水后，将硷添加至该异丙醇溶液以将该异丙醇溶液之pH值改变至10.2或更高。如申请专利范围第16项之清洗基板用的清洗溶液，其中该硷为NH4OH，而该NH4OH的浓度系介于约0.25重量%至约10重量%之间。一种清洗化合物，用以清洗一半导体基板，其实质上由以下成分所组成：脂肪酸，以约0.5重量%至约10重量%分散于水中；足量之硷，该硷足以将该脂肪酸与水之溶液的pH值改变至一程度以上，在此程度下有约50%之该经分散的脂肪酸被离子化；一第一不溶成分，以液态分散于水中；及一第二不溶成分，以气态分散于水中。如申请专利范围第18项之清洗化合物，其中该脂肪酸为硬脂酸。如申请专利范围第18项之清洗化合物，其中该pH值约为10.2。如申请专利范围第18项之清洗化合物，其中该脂肪酸系选自包含下列者之族群：月桂酸(lauric)、棕榈酸(palmitic)、硬脂酸(stearic)、油酸(oleic)、亚麻油酸(linoleic)、次亚麻油酸(linolenic)、花生四烯酸(arachidonic)、鳕烯酸(gadoleic)、十八稀酸(eurcic)、丁酸(butyric)、己酸(caproic)、辛酸(caprylic)、肉豆蔻酸(myristic)、十七酸(margaric)、山嵛酸(behenic)、木腊酸(lignoceric)、肉豆蔻烯酸(myristoleic)、棕榈烯酸(palmitoleic)、神经酸(nervonic)、杷荏酸(parinaric)、二十碳五烯酸(timnodonic)、顺廿二碳-13-烯酸(brassic)、鰶鱼酸(clupanodonic acid)及其混合物。如申请专利范围第18项之清洗化合物，其中该脂肪酸具有介于约50奈米至5000微米之粒子尺寸分布。如申请专利范围第18项之清洗化合物，其中该脂肪酸之酸组分系选自于包含碳酸、磺酸及膦酸组分之族群。如申请专利范围第18项之清洗化合物，更包含：另一脂肪酸，以0.1重量%至约10重量%分散于该水中。如申请专利范围第18项之清洗化合物，其中在将该脂肪酸添加至该水中之前使其熔化。 |
