| 主权项 |
一种被动式主光罩工具，包括：一载体，其经组态以驻存在一微影装置之一主光罩平台中；以及一相关联于该载体之偏振感测器模组阵列，该偏振感测器模组阵列经组态以在复数个场点处接收来自一照明器的照明器辐射，并且其中该偏振感测器模组阵列经组态以输出辐射至一侦测器，该侦测器经组态以执行衍生自该照明器辐射之偏振光的一组强度测量，该组强度测量相对应于施加至该照明器辐射的复数项延迟条件。如请求项1之被动式主光罩工具，其中每一偏振感测器模组包括：一场阑，其经组态以在一对应场位置处接收一具有一第一偏振状态的照明器辐射光束；一镜面，其经组态以反射该接收之照明器辐射光束；一延迟器，其经组态以对该具第一偏振状态的该接收之照明器辐射光束提供一延迟；以及一偏振器，其经组态以提供具有一预先决定偏振状态的辐射至该侦测器。如请求项2之被动式主光罩工具，进一步包括一准直透镜，其经组态以使具有该预先决定偏振状态的该所提供之辐射准直。如请求项2之被动式主光罩工具，其中该偏光器系一Brewster元件。如请求项4之被动式主光罩工具，其中该Brewster元件是一Brewster棱镜，其经组态以在一内棱镜表面反射具有该预先决定偏振状态之辐射。如请求项2之被动式主光罩工具，其中该延迟器包括沿该接收之辐射光束的一路径连贯布置的两个楔形棱镜，每一楔形棱镜包括具有彼此互相正交布置之光学快轴的一组两个楔形物，其中该延迟器的该等光学快轴具有相对于彼此0°、90°、45°及-45°之相对定向。如请求项1之被动式主光罩工具，其中该偏振感测器模组阵列包括复数行，每行具有一组四个偏振感测器模组，其中该行之每一偏振感测器模组经组态以提供不同该行中其他偏振感测器模组之延迟的一延迟。如请求项7之被动式主光罩工具，其中该载体经组态以沿一平行于该等行之方向平移，其中每一偏振感测器模组的场阑经组态以拦截一照明器内的一共同场点，其中该主光罩工具经组态以提供关于在该共同场点处接收之辐射的一偏振状态之完整偏振资讯。如请求项1之被动式主光罩工具，该侦测器系定位在一主光罩层级。如请求项1之被动式主光罩工具，该侦测器系定位在一晶圆层级。如请求项1之被动式主光罩工具，其中该侦测器包括一CCD、一CMOS侦测器及一正感光侦测器之一。如请求项1之被动式主光罩工具，进一步包括一对位标记。如请求项2之被动式主光罩工具，其中每一偏振感测器模组包括一经组态以覆盖该场阑之可移动式快门，其中该被动式主光罩工具经组态以在一指定之偏振感测器模组中接收来自该照明器之辐射，并且同时阻挡辐射进入其他偏振感测器模组。一种微影装置，包括：一照明器，其经组态以供应朝向一主光罩平台的辐射；一种被动式主光罩工具，其具有：一载体，其布置在一微影装置之一主光罩平台处；以及一相关联于该载体之偏振感测器模组阵列，其中该偏振感测器模组阵列经组态以在复数个场点处接收来自一照明器的照明器辐射，并且其中该偏振感测器模组阵列经组态以输出辐射至一侦测器，该侦测器经组态以执行衍生自该照明器辐射之偏振光的一组强度测量，该组强度测量相对应于施加至该照明器辐射的复数项延迟条件。如请求项14之微影装置，其中每一偏振感测器模组包括：一场阑，其经组态以在一对应场位置处接收一具有一第一偏振状态的照明器辐射光束；一镜面，其经组态以反射该接收之照明器辐射光束；一延迟器，其经组态以对具该第一偏振状态的该接收之照明器辐射光束提供一延迟；以及一偏振器，其经组态以提供具有一预先决定偏振状态的辐射至该侦测器。如请求项15之微影装置，进一步包括一准直透镜，其经组态以使具有该预先决定偏振状态的该所提供之辐射准直。如请求项15之微影装置，其中该偏光器系一Brewster元件。如请求项17之微影装置，其中该Brewster元件是一Brewster棱镜，其经组态以在一内棱镜表面反射具有该预先决定偏振状态之辐射。如请求项14之微影装置，其中该偏振感测器模组阵列包括复数行，每行具有一组四个偏振感测器模组，其中该行之每一偏振感测器模组经组态以提供不同该行中其他偏振感测器模组之延迟的一延迟。如请求项18之微影装置，其中该载体经组态以沿一平行于该等行之方向平移，其中每一偏振感测器模组的场阑经组态以拦截一照明器内的一共同场点，其中该主光罩工具经组态以提供关于在该共同场点处接收之辐射的一偏振状态之完整偏振资讯。如请求项14之微影装置，进一步包括：一处理器，其经组态以依据该复数项强度测量来判定该第一偏振状态；以及一控制器，其经组态以接收一相关于该偏振状态的讯号，并且依据该接收之资讯来调整该照明器。一种在一微影工具中图案化一装置之方法，包括：在一主光罩平台处接收一相对应于一照明器场中一第一场点的辐射；提供一感测器阵列，该感测器阵列经组态以将复数项偏振延迟条件提供至所接收之辐射；透过该第一场点来扫描该感测器阵列，以产生相对应于该复数项偏振延迟条件的复数个辐射光束；将该复数个辐射光束导引朝向一偏振元件，该偏振元件经组态以转递具有一预先决定偏振的辐射光束；测量从该偏振元件所转递之该复数个辐射光束中之每一辐射光束的一辐射强度；判定位于该照明器场中该第一场点处之辐射的偏振条件；以及依据该决定之偏振条件来调整一照明器。 |
