| 主权项 |
一种具多孔性感测层之湿度感测器的制造方法，其包含：提供一基板，并在其上表面形成一下电极层；将一液态聚醯亚胺(polyimide)涂布于该下电极层上，以形成一聚醯亚胺膜；将该基板含浸于一挥发性溶液中，使尚未固化之该聚醯亚胺膜形成数个微孔结构，其中该挥发性溶液另加入可潮解性有机盐类或无机盐类，以同时在该微孔结构之内壁面伴随形成一可潮解性盐类层；固化上述含浸处理后之该聚醯亚胺膜；及在该聚醯亚胺膜之上表面形成一上电极层，以完成该湿度感测器，其中该上电极层形成开放状之该开口，且该开口连通于相邻之该微孔结构。如申请专利范围第1项所述之具多孔性感测层之湿度感测器的制造方法，其中该液态聚醯亚胺系选自感光性聚醯亚胺或非感光性聚醯亚胺。如申请专利范围第1项所述之具多孔性感测层之湿度感测器的制造方法，其中藉由旋转涂布方式将该液态聚醯亚胺涂布于该下电极层上，以形成该聚醯亚胺膜。如申请专利范围第1项所述之具多孔性感测层之湿度感测器的制造方法，其中该聚醯亚胺膜之厚度约介于5微米至20微米之间如申请专利范围第1项所述之具多孔性感测层之湿度感测器的制造方法，其中该挥发性溶液选自水、有机溶剂、有机溶剂之水溶液、无机溶剂或无机溶剂水溶液。如申请专利范围第5项所述之具多孔性感测层之湿度感测器的制造方法，其中该有机溶剂选自醇类、醚类或酮类。如申请专利范围第6项所述之具多孔性感测层之湿度感测器的制造方法，其中该醇类选自甲醇、乙醇、丙醇或异丙醇，该醚类选自甲醚或乙醚，及该酮类选自丙酮。如申请专利范围第5项所述之具多孔性感测层之湿度感测器的制造方法，其中当该挥发性溶液选自有机溶剂之水溶液时，藉由增加该有机溶剂之体积百分浓度，以调高该微孔结构在单位体积聚醯亚胺中所占之体积比例，及缩小该微孔结构之孔径尺寸；或者，藉由降低该有机溶剂之体积百分浓度，以调低该微孔结构在单位体积聚醯亚胺中所占之体积比例，及增加该微孔结构之孔径尺寸。如申请专利范围第5项所述之具多孔性感测层之湿度感测器的制造方法，其中该无机溶剂选自磷酸、氢氟酸或氢氯酸。如申请专利范围第5项所述之具多孔性感测层之湿度感测器的制造方法，其中当该挥发性溶液选自无机溶剂之水溶液时，藉由增加该无机溶剂之体积百分浓度，以调高该微孔结构在单位体积聚醯亚胺中所占之体积比例，及缩小该微孔结构之孔径尺寸；或者，藉由降低该无机溶剂之体积百分浓度，以调低该微孔结构在单位体积聚醯亚胺中所占之体积比例，及增加该微孔结构之孔径尺寸。如申请专利范围第1项所述之具多孔性感测层之湿度感测器的制造方法，其中该可潮解性有机盐类或无机盐类选自硷金族或硷土族之卤化盐类或醋酸盐类。如申请专利范围第11项所述之具多孔性感测层之湿度感测器的制造方法，其中该硷金族或硷土族之卤化盐类或醋酸盐类选自氯化锂、氯化钠、氯化钾、氯化镁、氯化钙、醋酸钠、醋酸钾或醋酸镁。如申请专利范围第1项所述之具多孔性感测层之湿度感测器的制造方法，其中藉由蒸镀方式在该基板上形成该下电极层；及藉由蒸镀方式在该聚醯亚胺膜上形成该上电极层。如申请专利范围第1项所述之具多孔性感测层之湿度感测器的制造方法，其中该下电极层之厚度约介于1000埃()至1微米之间；及该上电极层之厚度约介于1000埃()至1微米之间。如申请专利范围第1项所述之具多孔性感测层之湿度感测器的制造方法，其中藉由加热方式或室温风乾方式固化该含浸处理后之聚醯亚胺膜。一种具多孔性感测层之湿度感测器的制造方法，其包含：提供一基板，并在其上表面形成一下电极层；混合一液态聚醯亚胺(polyimide)及一挥发性溶液成为一混合液，其中该挥发性溶液另加入可潮解性有机盐类或无机盐类；将该混合液涂布于该下电极层上，以形成一聚醯亚胺膜及数个微孔结构，并同时在该微孔结构之内壁面伴随形成一可潮解性盐类层；固化上述涂布处理后之该聚醯亚胺膜；及在该聚醯亚胺膜之上表面形成一上电极层，以完成该湿度感测器，其中该上电极层形成开放状之该开口，且该开口连通于相邻之该微孔结构。如申请专利范围第16项所述之具多孔性感测层之湿度感测器的制造方法，其中该液态聚醯亚胺系选自感光性聚醯亚胺或非感光性聚醯亚胺。如申请专利范围第16项所述之具多孔性感测层之湿度感测器的制造方法，其中藉由旋转涂布方式将该混合液涂布于该下电极层上，以形成该聚醯亚胺膜。如申请专利范围第16项所述之具多孔性感测层之湿度感测器的制造方法，其中该聚醯亚胺膜之厚度约介于1公厘至5公厘之间如申请专利范围第16项所述之具多孔性感测层之湿度感测器的制造方法，其中该挥发性溶液选自水、有机溶剂、有机溶剂之水溶液、无机溶剂或无机溶剂水溶液。如申请专利范围第20项所述之具多孔性感测层之湿度感测器的制造方法，其中该有机溶剂选自醇类、醚类或酮类。如申请专利范围第21项所述之具多孔性感测层之湿度感测器的制造方法，其中该醇类选自甲醇、乙醇、丙醇或异丙醇，该醚类选自甲醚或乙醚，及该酮类选自丙酮。如申请专利范围第20项所述之具多孔性感测层之湿度感测器的制造方法，其中当该挥发性溶液选自有机溶剂之水溶液时，藉由增加该有机溶剂之体积百分浓度，以调高该微孔结构在单位体积聚醯亚胺中所占之体积比例，及缩小该微孔结构之孔径尺寸；或者，藉由降低该有机溶剂之体积百分浓度，以调低该微孔结构在单位体积聚醯亚胺中所占之体积比例，及增加该微孔结构之孔径尺寸。如申请专利范围第20项所述之具多孔性感测层之湿度感测器的制造方法，其中该无机溶剂选自磷酸、氢氟酸或氢氯酸。如申请专利范围第20项所述之具多孔性感测层之湿度感测器的制造方法，其中当该挥发性溶液选自无机溶剂之水溶液时，藉由增加该无机溶剂之体积百分浓度，以调高该微孔结构在单位体积聚醯亚胺中所占之体积比例，及缩小该微孔结构之孔径尺寸；或者，藉由降低该无机溶剂之体积百分浓度，以调低该微孔结构在单位体积聚醯亚胺中所占之体积比例，及增加该微孔结构之孔径尺寸。如申请专利范围第16项所述之具多孔性感测层之湿度感测器的制造方法，其中该可潮解性有机盐类或无机盐类选自硷金族或硷土族之卤化盐类或醋酸盐类。如申请专利范围第26项所述之具多孔性感测层之湿度感测器的制造方法，其中该硷金族或硷土族之卤化盐类或醋酸盐类选自氯化锂、氯化钠、氯化钾、氯化镁、氯化钙、醋酸钠、醋酸钾或醋酸镁。如申请专利范围第16项所述之具多孔性感测层之湿度感测器的制造方法，其中藉由蒸镀方式在该基板上形成该下电极层；及藉由蒸镀方式在该聚醯亚胺膜上形成该上电极层。如申请专利范围第16项所述之具多孔性感测层之湿度感测器的制造方法，其中该下电极层之厚度约介于1000埃()至1微米之间；及该上电极层之厚度约介于1000埃()至1微米之间。如申请专利范围第16项所述之具多孔性感测层之湿度感测器的制造方法，其中藉由加热方式或室温风乾方式固化该含浸处理后之聚醯亚胺膜。 |
