发明名称 感光性树脂组成物、光阻图型之形成方法、印刷配线板之制造方法及电浆显示面板用基板之制造方法
摘要
申请公布号 TWI347493 申请公布日期 2011.08.21
申请号 TW096106195 申请日期 2007.02.16
申请人 日立化成工业股份有限公司 发明人 熊木尚;宫坂昌宏
分类号 G03F7/027;G03F7/004;G03F7/031 主分类号 G03F7/027
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 一种感光性树脂组成物,其特征为含有(A)重量平均分子量为35,000~65,000之具有羧基之黏合剂聚合物、(B)具有乙烯不饱和键之光聚合性化合物及(C)光聚合引发剂,其中该(B)成分为含有(B1)具有1个乙烯性不饱和键之光聚合性化合物、(B2)具有2个乙烯性不饱和键之光聚合性化合物、及(B3)具有3个以上之乙烯性不饱和键之光聚合性化合物,该(B1)成分对该(B)成分全量之比例为15~30质量%,该(B2)成分对该(B)成分全量之比例为40~70质量%,该(B3)成分对该(B)成分全量之比例为15~30质量%,该(A)成分之含量对(A)成分及(B)成分之合计量100质量份为40~80质量份,该(C)成分之含量对(A)成分及(B)成分之合计量100质量份为0.1~10.0质量份,该(B2)成分含有由双酚A系(甲基)丙烯酸酯化合物及苯甲酸缩水甘油酯的(甲基)丙烯酸加成物所选择之至少一种。如申请专利范围第1项之感光性树脂组成物,其中该(C)成分含有2,4,5-三芳基咪唑二聚物。如申请专利范围第1项之感光性树脂组成物,其中该(C)成分包含2-(邻-氯苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(邻-氯苯基)-4,5-(甲氧苯基)咪唑二聚物、2-(邻-氟苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(邻-甲氧苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物及2-(对-甲氧苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物所选出之至少一种之2,4,5-三芳基咪唑二聚物。如申请专利范围第1项之感光性树脂组成物,其尚有(D)增感色素。一种光阻图型之形成方法,其特征系将活性光线照射于由申请专利范围第1至4中任一项之感光性树脂组成物所成的感光层后,除去该感光层之一部分形成光阻图型。一种印刷配线板之制造方法,其特征系具备:藉由申请专利范围第5项之光阻图型之形成方法形成光阻图型的步骤,藉由以该光阻图型作为光罩使用之蚀刻或镀敷,形成导体图型的步骤。一种电浆显示面板用基板的制造方法,其系具有基板及该基板上所形成之阻隔壁之电浆显示面板用基板的制造方法,其特征为具备:藉由申请专利范围第5项之光阻图型的形成方法,形成于基板上之阻隔壁前驱物膜上形成光阻图型的步骤,以该光阻图型作为光罩使用,除去该阻隔壁前驱物膜之一部分形成图型化的步骤,由图型化后之该阻隔壁前驱物膜形成阻隔壁的步骤。
地址 日本