| 主权项 |
一种用于与一个工具一起使用的工件转移系统，该工具系用于在低压加工处理工件，该工件转移系统包含有：a)一个容置在一个装载止动壳体之内的第一隔离装载止动器，用于将一个工件从一个较高压力的区域处转移到一个较低压力的区域、并且回到前述较高压力的区域处，该第一隔离装载止动器包括有以不同的角度面对前述较高压力区域的第一及第二进入开口，用于容许该第一隔离装载止动器可以从二个不同的方向中被取用；b)一个容置在前述装载止动壳体之内的第二隔离装载止动器，其系被定位在紧邻于第一工件隔离装载止动器，用于将一个工件从一个较高压力的区域转移到一个较低压力的区域处，并且回到前述较高压力的区域处，该第二隔离装载止动器包括有以不同的角度面对前述较高压力区域的第一及第二进入开口，用于容许该第二隔离装载止动器可以从二个不同的方向中被取用；c)一个工件加工处理站台，用于在低压加工处理工件；d)一个第一机器人装置，用于将工件从前述的第一以及第二工件隔离装载止动器的其中之一处转移到该工件加工处理站台；以及e)多个其他的机器人装置，此等机器人装置系定位在前述较高压力区域中而位于该较低压区域外侧，用于在进行加工处理之前，从前述工件的一个来源处将工件转移到及转移离开相邻的工件隔离装载止动器，以及在前述的加工处理之后，将工件转移到前述工件的一个目的地，其中，前述多个其他机器人装置中的每个装置都是以面对的关系对齐，用于移动工件通过特定的一个装载止动器之前述第一及第二进入开口之其中一个指定的进入开口。如申请专利范围第1项所述的转移系统，其另外地包含有一个工件调整器，用于控制被移动通过该等第一及第二工件隔离装载止动器之工件的一个对准状态。如申请专利范围第1项所述的转移系统，其中，前述第一以及第二隔离装载止动器每个都包含有一个支撑件，用于在装载止动器之内支撑放置在该支撑件上的一个工件：以及一个控制阀，用于选择性地将一个装载止动器排气到大气以及到达一个真空源，用于降低在该装载止动器之内的压力。如申请专利范围第1项所述的转移系统，其中，该第一以及该第二隔离装载止动器系垂直地彼此分隔开，并且其中，该第一机器人装置系包括有二个分隔开的终端受动器，此等终端受动器可以被移动到第一以及第二隔离装载止动器之中，用以获取一个工件。如申请专利范围第4项所述的转移系统，其中，此等分隔开的终端受动器可以相对于该等装载止动器而被上升或下降，用于容许任一个终端受动器可以移动到任何一个前述的第一或第二装载止动器之中。一种用于与一个工具一起使用的转移装置，该工具系用于在低压加工处理一个工件，该转移装置包含有：a)一个封闭件，其系界定出一个低压区域，用于在该低压区域之内的一个工件加工处理站台处加工处理工件；b)二个相邻的工件隔离装载止动器，其中，每个装载止动器都包括有：i)第一及第二进入开口，用于选择性地将大气压力连通到一个装载止动器的内部，用于将工件转移到一个大气压力区域以及将工件转移离开该大气压力区域，其中，前述的二个进入开口系以不同的角度面对着前述大气压力区域；以及ii)一个第三进入开口，用于将在该装载止动器内部之内的工件转移到用于加工处理的较低压力，并且在前述的加工处理之后回到前述的较高压力；c)一个第一机器人装置，用于将工件从该等相邻的工件隔离装载止动器处转移到一个位于该低压区域之内的加工处理站台；以及d)多个其他的机器人装置，此等机器人装置系定位在前述大气压力区域中而位于该较低压区域外侧，用于在进行加工处理之前，从前述工件的一个来源处将工件转移到及转移离开相邻的工件隔离装载止动器，以及在前述的加工处理之后，将工件转移到前述工件的一个目的地，其中，前述多个其他机器人装置中的每个装置都是以面对的关系对齐，用于移动工件通过特定的一个装载止动器之前述第一及第二进入开口之其中一个指定的进入开口。如申请专利范围第6项所述的转移装置，其中，该等相邻的工件隔离装载止动器系被定位成一个在另一个的顶部上。如申请专利范围第7项所述的转移装置，其中，一个装载止动器的二个进入开口系会打开以容许工件可以沿着不同的前进路径被插入并且放置在一个装载止动器的支撑件上。如申请专利范围第6项所述的转移装置，其中，该第一机器人装置系以弧形的方式将该等工件移动到一个转移站台。如申请专利范围第9项所述的转移装置，其中，该第一机器人装置具有二个终端受动器，其中，每个终端受动器都可以主动地夹持在任一个装载止动器之中的一个工件。如申请专利范围第10项所述的转移装置，其中，该等装载止动器系被定位成一个在另一个的顶部上，并且该等工件为大体上平坦的晶圆，并且更进一部的是其中，该二个终端受动器系沿着一个横向于一个此等大体上平坦之晶圆之平面的方向向上及向下移动。如申请专利范围第11项所述的转移装置，其中，该等二个终端受动器系被连结到一个可以移动的滑动架，该滑动架系同时移动该等二个终端受动器。一种用于连续地在低压下加工处理多个工件的方法，该方法包含有：定位二个彼此相邻的装载止动器，其中每个装载止动器都具有第一及第二大气进入开口，此等进入开口系以不同的角度面对着一个大气区域；提供一个具有二个终端受动器的低压机器人装置，用于将工件从该等二个装载止动器处移动到一个加工处理站台处；将多个空气中(in-air)机器人装置加以定位，此等空气中机器人装置系处于与该等二个装载止动器的一个特定大气进入开口的面对关系中，用于将工件移入及移离前述的二个装载止动器；藉着一个空气中(in-air)机器人装置抓取一个未经加工处理过的工件，并且将前述未经加工处理的工件经由一个第一大气装载止动器进入开口移动到前述二个装载止动器的一个第一装载止动器处，并且将该未经加工处理过的工件放置在该第一装载止动器的内侧，而该进入开口具有与前述的一个空气中(in-air)机器人装置的面对关系；降低在该第一装载止动器之内的压力；以前述低压机器人装置的一个终端受动器将该未经加工处理过的工件从该第一装载止动器处移除，并且将该未经加工处理过的工件移动到一个加工处理站台；藉着前述低压机器人装置的一个第二终端受动器将一个从该加工处理站台处获得之已经加工处理的工件放置于前述二个装载止动器的一个装载止动器之中；提高在该一个装载止动器之内的压力；以及经由一个特地的大气装载止动器进入开口来将该加工处理过的工件从该装载止动器处移除。如申请专利范围第13所述之加工处理方法，其中，一个加工处理过的工件系被放置在该装载止动器之中，在同时，一个未经加工处理的工件系正在在该加工处理站台处被加工处理。如申请专利范围第14所述之加工处理方法，其中，该工件是一个半导体晶圆，并且其中，该低压机器人装置系将用于放置的晶圆传送到一个晶圆垫块上，该晶圆垫块系吸引该晶圆，并且该方法更包含有在进行加工处理之前重新定向晶圆以及垫块。如申请专利范围第13所述之加工处理方法，其包含有将该二个装载止动器定位成一个在另一个上方。如申请专利范围第16所述之加工处理方法，其包含有向上及向下移动该低压机器人装置的二个终端受动器，用以使得任一个终端受动器都可以存取在该等二个装载止动器之任一个之内的工件。如申请专利范围第17所述之加工处理方法，其中，该二个终端受动器系以彼此共线的方式被装设于一个滑动架上，该滑动架系支撑一个驱动马达，用于独立地致动每个终端受动器，并且该方法更包含有相对于该等二个装载止动器向上及向下地移动该滑动架，用以适当地相对于一个装载止动器来定位一个终端受动器。如申请专利范围第13所述之加工处理方法，其中，该工件是一个大体上平坦的晶圆，并且该方法更包含有在将一个未经加工处理的晶圆插入一个装载止动器之前，对齐该晶圆的一个定向。如申请专利范围第19所述之加工处理方法，其更包含有以一个第一在空气中机器人装置从一个晶圆来源处收集一个未经加工处理的晶圆，将该未经加工处理的晶圆放置于一个用于定向的调整器上，并且其中，一个第二在空气中机器人装置系从该调整器处移除一个被对齐的晶圆，用于经由该第一装载止动器转移到该加工处理站台。如申请专利范围第13所述之加工处理方法，其中，在从该装载止动器处移除已经加工处理过的工件之前，一个或多个另外的未经加工处理的工件系相继地从一个来源处被一个在空气中的机器人装置移动到该第一装载止动器。如申请专利范围第21所述之加工处理方法，其中，另外的未经加工处理的一个交替间隔之工件系被放置在前述二个装载止动器的间隔的装载止动器之中，用以容许一个先前的工件可以从一个被抽空的装载止动器处移除，同时一个间隔的装载止动器系被打开到大气，用于接收一个未经加工处理的工件。如申请专利范围第13所述之加工处理方法，其中，一个给定的工件系在加工处理之后从相同的装载止动器处被移除，而前述的给定工件系在进行加工处理之前被放置于该装载止动器之中。 |
