| 主权项 |
一种晶圆转移装置，系由一埠以及一推动装置组合而成且该推动装置枢接复数个推杆，其中该些推杆之特征在于：该些推杆可相对于该推动装置改变位置于一第一位置与一第二位置之间，且随该推动装置移动。如申请专利范围第1项所述之晶圆转移装置，其中该些推杆系可拆卸组装。如申请专利范围第1项所述之晶圆转移装置，其中该些推杆系以转动方式移动于该第一位置与该第二位置。如申请专利范围第1项所述之晶圆转移装置，其中该些推杆系直线移动于该第一位置与该第二位置。一种晶圆转移装置，系由一埠以及一推动装置组合而成且该推动装置枢接复数个推杆，其特征在于：该些推杆可相对于该推动装置移动于第一位置与第二位置之间，藉由该些推杆自该第一位置移动至该第二位置时，将一第一晶舟中的晶圆转移至一第二晶舟。如申请专利范围第5项所述之晶圆转移装置，其中该些推杆系可拆卸组装。如申请专利范围第5项所述之晶圆转移装置，其中该些推杆系直线移动于该第一位置与该第二位置。如申请专利范围第5项所述之晶圆转移装置，其中该些推杆系以枢接方式与该推动装置连接。一种晶圆转移装置，包含：一推动装置，系与一埠枢接且该推动装置上配置复数个推杆，该些推杆可相对于该推动装置改变位置于一第一位置与一第二位置之间且随该推动装置移动；以及一防呆装置，系由一压杆以及一阻挡片所组成，其中该压杆系套装于该埠之中且该阻挡片之一端抵住该推动装置之一端。如申请专利范围第9项所述之晶圆转移装置，其中该阻挡片系经由一固定装置与该埠枢接。如申请专利范围第9项所述之晶圆转移装置，其中该些推杆系可拆卸组装。如申请专利范围第9项所述之晶圆转移装置，其中该些推杆系直线移动于该第一位置与该第二位置。如申请专利范围第9项所述之晶圆转移装置，其中该些推杆系以枢接方式与该推动装置连接。一种晶圆转移装置，包含：一埠，用以放置一第一晶舟与一第二晶舟；一推动装置，与该埠枢接且该推动装置上配置复数个推杆，其中该些推杆可相对于该推动装置改变位置于一第一位置与一第二位置之间，且随该推动装置移动；以及至少一防呆装置，系由一压杆以及一阻挡片所组成，其中该压杆系套装于该埠之中。如申请专利范围第14项所述之晶圆转移装置，其中该阻挡片系经由一固定装置与该埠枢接。如申请专利范围第14项所述之晶圆转移装置，其中该些推杆系可拆卸组装。如申请专利范围第14项所述之晶圆转移装置，其中该些推杆系直线移动于该第一位置与该第二位置。如申请专利范围第14项所述之晶圆转移装置，其中该些推杆系以枢接方式与该推动装置连接。一种晶圆转移装置，包含：一埠，用以放置一第一晶舟与一第二晶舟；一推动装置，与该埠枢接且该推动装置上配置复数个推杆，其中该些推杆可相对于该推动装置改变位置于一第一位置与一第二位置之间，且随该推动装置移动；以及一第一防呆装置，系配置于该埠的一侧边附近，由一压杆以及一阻挡片所组成，其中该压杆系套装于该埠之中；一第二防呆装置，系配置于该埠的另一侧边附近，由一压杆以及一阻挡片所组成，其中该压杆系套装于该埠之中。如申请专利范围第19项所述之晶圆转移装置，其中该第一防呆装置之压杆以及该第二防呆装置之压杆系以枢接方式与该推动装置连接。 |
