| 主权项 |
一种固定装置，所述固定装置包括：一支撑板，其用以支撑基板；复数治具，其分别包括一永磁铁、复数抵片、一电线圈及一铁芯；所述永磁铁与所述电线圈相对设置，所述铁芯设置于所述电线圈中心之延伸方向上且该铁芯与所述复数抵片保持同时运动；所述电线圈通电后，所述铁芯及所述复数抵片受所述电线圈所产生之磁力之影响而沿一定方向移动，且当所述铁芯移动并穿过所述电线圈之中心时，将使所述电线圈产生反相电动势；所述永磁铁于所述复数抵片移动到确定位置后将所述复数抵片吸附；一第一控制单元，其电连接于所述电线圈，所述第一控制单元包括一脉冲宽度调制(PWM)控制器，所述脉冲宽度调制(PWM)控制器藉由编程而控制所述复数治具之夹持力之大小；一第二控制单元，其用于根据检测所述电线圈上产生之反相电动势而判断所述复数治具夹持所述基板是否到达预定位置。如申请专利范围第1项所述之固定装置，其中，所述复数治具进一步分别包括一固定块、复数条导轨及一阻挡块；所述复数抵片及所述铁芯固连于所述固定块上，所述固定块线性滑动于所述复数条导轨上并带动所述复数抵片及所述铁芯沿一定方向移动。如申请专利范围第2项所述之固定装置，其中，所述复数治具进一步分别包括一阻挡块，所述阻挡块固连于所述复数条导轨之边缘以防止所述固定块滑出所述复数条导轨。如申请专利范围第1项所述之固定装置，其中，所述第二控制单元包括一采样讯号发射器、一采样讯号接收器及一开关控制器；所述采样讯号发射器于所述脉冲宽度调制控制器发射脉冲之时间间隔内发射采样讯号以检测所述电线圈是否产生一可被检测之反相电动势，并于检测到该反相电动势时发射一反馈讯号给所述采样讯号接收器，同时由所述开关控制器控制所述电线圈断电。如申请专利范围第1项所述之固定装置，其中，所述支撑板上表面之边缘部设置有定位销，所述定位销与所述复数治具将基板固定于所述支撑板上。如申请专利范围第1项所述之固定装置，其中，所述支撑板之上表面设置有对应于所述复数治具之复数通孔，其用于容纳所述复数治具。如申请专利范围第1项所述之固定装置，其中，所述固定装置还包括一隔热层，其设置于所述支撑板远离基板之一侧并接近于所述电线圈，以防止所述电线圈通电时产生之热量向基板扩散。如申请专利范围第1项所述之固定装置，其中，所述固定装置还包括一时序控制器，其用于控制所述复数治具夹持所述基板之时间及顺序。一种采用如申请专利范围第1项所述之固定装置之固定装置控制方法，其包括步骤：所述脉冲宽度调制(PWM)控制器输出一列正向脉冲讯号控制所述电线圈驱动所述铁芯穿向所述电线圈，同时由与所述铁芯相连之固定块带动所述复数抵片朝接近所述永磁铁之方向运动；所述抵片运动至预定位置，所述永磁铁将所述治具之复数抵片吸附；所述铁芯停止运动，所述电线圈产生一可被检测之反相电动势；所述第二控制单元检测所述可被检测之反相电动势，并控制所述电线圈断电。如申请专利范围第9项所述之固定装置控制方法，进一步包括步骤：所述脉冲宽度调制(PWM)控制器输出一列反向脉冲讯号控制所述电线圈对所述铁芯产生一反向推力并由该反向推力推动所述抵片与所述永磁铁分离。 |
