发明名称 RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION
摘要
申请公布号 KR20110094085(A) 申请公布日期 2011.08.19
申请号 KR20117014592 申请日期 2009.11.26
申请人 JSR CORPORATION 发明人 NISHIMURA YUKIO;MATSUDA YASUHIKO;SAKAI KAORI;SUGIURA MAKOTO
分类号 G03F7/039;C08F20/28 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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