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摘要
申请公布号
KR101057651(B1)
申请公布日期
2011.08.18
申请号
KR20080116725
申请日期
2008.11.24
申请人
发明人
分类号
H01L21/336;H01L29/78
主分类号
H01L21/336
代理机构
代理人
主权项
地址
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